Информация об авторе
Алов, Н. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 11 (2024) | Статьи | Окисление и травление тонких пленок рутения в кислородной плазме при низкой энергии ионов |
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
деформация
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
микроструктура
модификация поверхности
морфология поверхности
наночастицы
нейтронная рефлектометрия
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация
×
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
деформация
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
микроструктура
модификация поверхности
морфология поверхности
наночастицы
нейтронная рефлектометрия
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация