Аннотация
Аномальной диффузией называют случайный процесс, при котором среднеквадратичное смещение частицы из точки старта нелинейно зависит от времени. Ранее было обнаружено, что такое поведение возможно для частиц высоких энергий, движущихся в кристалле в условиях, близких к аксиальному каналированию. В этом случае быстрое смещение частиц в поперечной атомным цепочкам плоскости (полеты Леви) обусловлено временным захватом частиц в плоскостные каналы. В настоящей работе путем численного моделирования найден показатель аномальной диффузии для различных значений энергии поперечного движения электронов в плоскости (100) кристалла кремния. Установлено, что в случае электронов с энергией поперечного движения, превышающей на 1 эВ высоту седловой точки потенциала системы атомных цепочек [100], результаты согласуются с полученными ранее. Подтверждено, что аномальный характер диффузии обусловлен возможностью кратковременного захвата частицы в плоскостные каналы, с ростом поперечной энергии такая возможность исчезает, и диффузия приобретает нормальный (броуновский) характер.