Low-Period Multilayered Ti/Ni  x  Mo  y   Films with Variable Quasi-Homogeneous Structure for Neutron Reflectometry

M. V. Avdeev; Авдеев М. В.; I. V. Gapon; Гапон И. В.; D. Merkel; Меркель Д.; M. Yerdauletov; Ердаулетов М.; D. M. Djanseitov; Джансейтов Д. М.; T. V. Tropin; Тропин Т. В.

doi:10.31857/S1028096023080046

Низкопериодические многослойные пленки Ti/Ni_xMo_y с варьируемой квазиоднородной структурой для нейтронной рефлектометрии

Авторы: Авдеев М.В.¹, Гапон И.В.², Меркель Д.², Ердаулетов М.¹^,3^,4, Джансейтов Д.М.³^,4, Тропин Т.В.¹
Учреждения:
1. Лаборатория нейтронной физики им. И.М. Франка, Объединенный институт ядерных исследований
2. Исследовательский центр Вигнера, Венгерская академия наук
3. Институт ядерной физики, Министерство энергетики Республики Казахстан
4. Евразийский национальный университет им. Л.Н. Гумилева
Выпуск: № 8 (2023)
Страницы: 46-51
Раздел: Статьи
URL: https://freezetech.ru/1028-0960/article/view/664521
DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023080046
EDN: https://elibrary.ru/OBLHMB
ID: 664521

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация

Приведены результаты тестирования многослойных гетероструктур Ti/Ni_xMo_y с малым периодом подслоев на предмет практического применения квазиоднородного подхода с варьированием плотности эффективной длины рассеяния тонких (толщина <100 нм) пленок в экспериментах методом нейтронной рефлектометрии зеркального отражения с изменяющейся границей раздела. С помощью изменения эффективной плотности длины рассеяния пленок предлагается варьировать контраст между компонентами сложных границ раздела (состоящих из нескольких компонентов, в том числе имеющих коллоидную природу), повышая таким образом чувствительность и информативность нейтронного эксперимента, проводимого в режиме in situ. Структуры с разным соотношением толщин подслоев Ni_xMo_y и Ti синтезированы магнетронным напылением. На основе анализа кривых зеркального отражения нейтронов сделан вывод о применимости однородного приближения.

Ключевые слова

тонкие пленки, поверхности многослойные структуры, нейтронная рефлектометрия, эксперименты in situ.

Список литературы

Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2020. № 13. С. 3.
Rus E.D., Dura J.A. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. P. 47553.
Lee C.H., Dura J.A., LeBar A., DeCaluwe S.C. // J. Power Sources. 2019. V. 412. P. 725.
Avdeev M.V., Rulev A.A., Ushakova E.E. et al. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 486. P. 287.
Косячкин Е.Н., Гапон И.В., Рулев А.А. и др. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 8. С. 10.
Бобриков И.А, Гапон И.В., Авдеев М.В. // Физ. эл. частиц и атом. ядра. 2022. Т. 53. № 3. С. 692.
Li Y., Xu X., Chen J. et al // J. Phys. Chem. C 2020. V. 124. 15107.
Avdeev M.V., Rulev A.A., Bodnarchuk V.I. et al. // Appl. Surf. Sci. 2017. V. 424. P. 378.
Петренко В.И., Косячкин Е.Н., Булавин Л.А., Авдеев М.В. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2018. № 7. С. 20.
Veres T., Cser L., Bodnarchuk V. et al. // Thin Solid Films. 2013. V. 540. P. 69.
Гапон И.В., Кузьменко М.О., Авдеев М.В., Иванова Н.А. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 4. С.30.
Sivaramalingam A., Thankaraj Salammal S., Soosaimanickam A. et al., Role of TiO2 in Highly Efficient Solar Cells. In: Rajendran, S., Karimi-Maleh, H., Qin, J., Lichtfouse, E. (eds) Metal, Metal-Oxides and Metal Sulfides for Batteries, Fuel Cells, Solar Cells, Photocatalysis and Health Sensors. Environmental Chemistry for a Sustainable World, V. 62. Springer, Cham., 2021. https://doi.org/10.1007/978-3-030-63791-0_5
Матвеев В.А., Плешанов Н.К., Геращенко О.В., Байрамуков В.Ю. // Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед. 2014. № 10. С. 34.
Kovács-Mezei R., Krist Th., Révay Zs. // Nucl. Instr. Methods A. 2008. V. 586. № 1. P. 51.
Bottyán L., Merkel D.G., Nagy B. et al. // Rev. Sci. Instr. 2013. V. 84. №. 1. 015112.
Nelson A. // J. Appl. Cryst. 2006. V. 39. P. 273.