Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника
- Авторы: Терентьев А.А.1
-
Учреждения:
- Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
- Выпуск: № 2 (2024)
- Страницы: 93–95
- Раздел: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
- URL: https://freezetech.ru/0032-8162/article/view/670202
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
- EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
- ID: 670202
Цитировать