Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

А. А. Терентьев; Терентьев А. А.

doi:10.31857/S0032816224020114

Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

Авторы: Терентьев А.А.¹
Учреждения:
1. Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Выпуск: № 2 (2024)
Страницы: 93–95
Раздел: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
URL: https://freezetech.ru/0032-8162/article/view/670202
DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
ID: 670202

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Описаны принципиальная схема и конструкция электростатической линзы для коррекции и дополнительной фокусировки пучка, выходящего из источника ионов магнетронного типа. Представлен чертеж такой линзы.

Полный текст

Об авторах

А. А. Терентьев

Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”

Автор, ответственный за переписку.
Email: Terentev_AA@nrcki.ru
Россия, 123098, Москва, пл. Академика Курчатова, 1

Список литературы

Computer code SIMION 3D Version 7.0 Sci. Instrum. Services, Ringoes, NJ 08551, USA.

Дополнительные файлы

Доп. файлы

Действие

1. JATS XML

Скачать

2. Рис. 1. Отклонение ионного пучка в магнетронном источнике в горизонтальной плоскости: 1 — газоразрядная камера, 2 — магнитное поле, 3 — нить накала (катод), 4 — выходная щель, 5 — корпус источника (анод), 6 — входной патрубок установки, 7 — ионный пучок.