Email this article 
Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника
- Authors: Терентьев А.А.1
-
Affiliations:
- Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
- Issue: No 2 (2024)
- Pages: 93–95
- Section: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
- URL: https://freezetech.ru/0032-8162/article/view/670202
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
- EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
- ID: 670202
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
Описаны принципиальная схема и конструкция электростатической линзы для коррекции и дополнительной фокусировки пучка, выходящего из источника ионов магнетронного типа. Представлен чертеж такой линзы.
Full Text
About the authors
А. А. Терентьев
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Author for correspondence.
Email: Terentev_AA@nrcki.ru
Russian Federation, 123098, Москва, пл. Академика Курчатова, 1
References
- Computer code SIMION 3D Version 7.0 Sci. Instrum. Services, Ringoes, NJ 08551, USA.
Supplementary files
Supplementary Files
Action
1.
JATS XML
2.
Fig. 1. Ion beam deflection in a magnetron source in a horizontal plane: 1 — gas discharge chamber, 2 — magnetic field, 3 — filament (cathode), 4 — exit slit, 5 — source body (anode), 6 — input pipe of the setup, 7 — ion beam.
Download (499KB)
3.
Fig. 2. Divergence of the ion beam in the vertical plane.
Download (471KB)
4.
Fig. 3. Electrostatic diagram of the lens.
Download (155KB)
5.
Fig. 4. Electrostatic unit.
Download (186KB)
6.
Fig. 5. Lens design.
Download (218KB)
7.
Fig. 6. Change in beam current with deviation of voltage on the lens (a), magnetic field in the source (b).
Download (157KB)
