Полиметилметакрилат с молекулярной массой 107 г/моль для рентгеновской литографии
- Авторы: Назьмов В.П.1,2, Варанд А.В.1, Михайленко М.А.2, Гольденберг Б.Г.1,3, Просанов И.Ю.2, Герасимов К.Б.2
-
Учреждения:
- Институт ядерной физики им Г.И. Будкера СО РАН
- Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
- Центр коллективного пользования “СКИФ”, Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН
- Выпуск: № 6 (2023)
- Страницы: 27-31
- Раздел: Статьи
- URL: https://freezetech.ru/1028-0960/article/view/664547
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1028096023060110
- EDN: https://elibrary.ru/DKCOQS
- ID: 664547
Цитировать